เครื่องทำความชื้นแบบไอน้ำส่วนบุคคลเป็นอุปกรณ์พกพาขนาดเล็กที่ใช้ไอน้ำเพื่อทำให้อากาศรอบตัวชื้น ออกแบบมาเพื่อใช้ในพื้นที่ขนาดเล็ก เช่น ห้องนอน สำนักงาน หรือพื้นที่ส่วนตัวอื่นๆ
โดยทั่วไปเครื่องทำความชื้นแบบไอน้ำส่วนบุคคลจะทำงานโดยการให้น้ำร้อนในถังเก็บน้ำเพื่อสร้างไอน้ำ จากนั้นจะถูกปล่อยออกสู่อากาศผ่านหัวฉีดหรือเครื่องกระจายความชื้น เครื่องทำความชื้นแบบไอน้ำส่วนบุคคลบางรุ่นใช้เทคโนโลยีอัลตราโซนิกเพื่อสร้างหมอกละเอียด แทนที่จะเป็นไอน้ำ
ข้อดีอย่างหนึ่งของเครื่องทำความชื้นแบบไอน้ำส่วนตัวคือพกพาสะดวกและสามารถเคลื่อนย้ายจากที่หนึ่งไปอีกที่หนึ่งได้อย่างง่ายดาย ยังค่อนข้างเงียบเมื่อเทียบกับเครื่องทำความชื้นประเภทอื่นๆ และสามารถใช้เพื่อเพิ่มความชื้นในอากาศรอบๆ ตัวบุคคลได้โดยไม่รบกวนผู้อื่น สามารถใช้เพิ่มระดับความสบายและบรรเทาอาการของอากาศแห้ง เช่น ผิวแห้งและช่องจมูก